Gocator5500系列同軸線共焦傳感器Gocator4000系列FocalSpec系列Focal-UULA 3D線共焦掃描儀FOCALSPEC LCI1220FOCALSPEC LCI1620FOCALSPEC LCI401FOCALSPEC LCI1201FOCALSPEC LCI1600
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3D同軸線共焦傳感器 |
Gocator 4000 系列 |
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Gocator 4000 系列引入同軸線共焦傳感技術，擴充 LMI 現有的線共焦產品組合。該系列傳感器提供高速、高分辨率、多功能、無陰影的 3D 在線檢測性能，具有出色的兼容角度（最大兼容角度可達 +/- 85 度），適用于半導 |
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| 產品參數 |
| G4000 系列型號 | 4010 | 4020 | |
| 輪廓線點數 | 1920 | 1920 | |
| 掃描速率(Hz)* | 4300-14000 | 4500-16000 | |
| X方向分辨率(μm) (輪廓線數據間隔) |
1.9 | 2.6 | |
| Z方向線性度(+/-%of MR)** | 0.06 | 0.02 | |
| Z方向重復性(μm)** | 0.12 | 0.25 | |
| 安裝凈距離(CD)(mm) | 9.3+/-0.2 | 27.8+/-0.3 | |
| 測量范圍(MR)(mm) | 1.05 | 2.5 | |
| 視野(FOV)(mm) | 3.5 | 5.0 | |
| 最大兼容角度(°) | 45-85 | 30-85 | |
| 尺寸(mm) | 183x82x459 | 183x82x428 | |
| 重量(kg) | 10.4 | 9.6 | |
| 以下規格適用于全部GOCATOR 4000系列型號 | |||
| 接口 | 千兆以太網 | *速度范圍從默認配置(全視場和全測量范 圍)到高速配置(縮小視場和測量范圍、關 閉均勻間距、優化數據間距和輸出) **此結果通過LMI標準和優化的傳感器配置 實現 |
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| 輸入 | 差分編碼器、觸發 | ||
| 輸出 | 2x數字輸出 | ||
| 工廠通訊 | PROFINET、Modbus、EtherNet/IP、ASCII、Gocator | ||
| 輸入電壓(功率) | +24到+48 VDC(77瓦);波動范圍：+/-5% | ||
| 機身防護 | 金屬全封閉機身，IP50 | ||
| 運作溫度(℃) | 1 5 至 3 5 | ||
| 存儲溫度(℃) | -30至70 | ||
| 抗震性 | 頻率10-55 Hz,X、Y和Z三個方向上1.5 mm雙向振幅，每個方向持續2小時 | ||
| 抗沖擊性 | 15g,半正弦沖擊，周期11 ms,從X,Y和Z三個方向的正負方向沖擊 | ||
| 掃描軟件 | 基于瀏覽器的圖形界面和開源SDK(軟件開發包)實現參數設置和三維數據實時可視化。提供開源SDK、本地驅動以及支持標準工業 協議方便與用戶應用、第三方圖像處理軟件、機器人和PLC集成 |
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| 產品尺寸 |
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| 應用示例 |
| 半導體行業 | |
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半導體 BGA Bump檢測 |
引線鍵合檢測 |
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晶圓細小缺陷檢測 |
芯片包裝 |
| 同軸線共焦傳感器“原理” | |
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以高分辨率進行可靠、精確且可重復的尺寸測量。在同軸共焦設計中， 入射白光通過彩色透鏡成像，沿Z軸產生連續的單色光，對光軸進行“顏色編碼”。 當物體位于該色場內時，單個波長會固定在其表面，被反射回光學系統，反射光束通過過濾孔， 由光譜儀獲取。通過計算光束的特定波長，以精確確定在測量范圍中的位置。
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| 同軸線共焦傳感器“優勢” | |
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